Nexensor 2D3D光學表面形貌量測
nXP-1 大面積one-shot快速量測:wafer表面缺陷、表面氣泡、Camera Film/IR Film量測
詳細介紹

nXP-1

單次干涉儀感測器

僅需一張影像即可高速測量形狀和翹曲度 nXP-1能夠使用一張影像測量和檢查反射材料的表面形狀。由於該產品的表面可以使用單張影像測量,因此可以實時實施,快速測量大面積。它可以檢查和測量通常難以測量的產品表面缺陷,例如大於幾微米的晶圓晶片表面的缺陷,相機膜的翹曲度,以及透明表面上的氣泡測量。 nXP-1還可以根據待測產品的大小或形狀以及客戶的需求進行定制。該產品配備了檢查和測量解決方案,以確保量產線的完美質量。

 

 

 


產品特色
                 
  • 僅需一張影像即可測量晶圓和膜類型的表面形狀
         
  • 透明表面的氣泡測量
              
  • 適用於大規模生產線
  • 快速測量和數據獲取



應用

Bubble

Film

IR film

Chip warpage