超精密、超快速的薄膜和微結構的3D測量 nXI-5採用干涉技術，這是一種用於校準精密測量設備的技術，可精確測量小區域。因此，它提供可靠的數據，以提高工藝效率並有效提高生產質量。此外，這種更快速的測量解決方案非常適合大規模生產線，其先進的測量技術確保了測量的高可靠性。

nXI-5可以測量步進、厚度和粗糙度，因此可用於測量微米以下的小區域，例如半導體的微結構、凸點和粗糙度，以及顯示屏中的柱形間隔物、表面結構和外部異物的突起等。此外，它還可以分離薄膜，因此在測量多層結構的產品方面表現優異。