PICOSUN® Sprinter ALD系統旨在顛覆半導體（例如新興記憶體、電晶體、電容器）、顯示和物聯網元件產業中300毫米製造線上的批量ALD生產。在Sprinter中，屏障、高介電氧化物和其他薄膜以完美的ALD方式在大規模生產中沉積。

完全自動化的、符合SEMI S2/S8認證的PICOSUN® Sprinter將領先的單晶片薄膜質量和均勻性與快速處理、高通量和毫不妥協的可靠性結合在一起。