PICOSUN™ P-1000 
PICOSUN™ P-1000 ALD系統用於生產環境下，對機械部件、玻璃板、金屬板、硬幣、珠寶或醫療植入器械等3D物件進行批量鍍膜加工。主要用於製造鈍化塗層和阻擋層隔絕部件與外部環境，以顯著提高物件的性能和 壽命。設計新穎靈活，使得該系統能運用經驗證的各種製程並高產量製造均勻的頂級ALD薄膜，且停運時間最短，生產成本低。同時，該系統維護可靠、快捷且輕鬆，這代表了工業化ALD尖端工藝水準。

技術特徵

• 典型基板尺寸和類型
  大小3D物件，如機械部件、玻璃板、金屬板、硬幣、珠寶和醫療植入器械等。
• 製程溫度
  50到400°C
• 典型製程
  Al2O3、ZnO和TiO2基板裝載用叉車等裝載工具手動裝載前驅物液態、固態、氣態和臭氧
• 前驅物
  餘量感測器，提供清洗和填裝前驅物服務6根獨立前驅物管線，最多可載入10個前驅物