Nebula系列 電漿表面處理系統（此系列由HPT系列基礎延伸）
大容量真空腔室能同時處理多件樣品，不論是直立或橫放的物件，另搭配選轉結構亦能處理小型零件。靈活運用在研究領域及前置電漿處理。可透過工業PLC系統控制，使用者能串連整個操作流程。經常應用於改善黏著度、親水性和疏水性塗層。
此系列可客製化增加至三個汽體出口及1個單體投量口，即可進行永久性的聚合物塗層於各種表面上。
| NEBULA | |
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外觀尺寸／重量 |
85.2ｘ61.2ｘ187.5公分 約100 - 120公斤 |
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腔體 |
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材質／形狀 |
不鏽鋼 / 長方形 |
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尺寸 |
30公升：30ｘ30ｘ36.5公分 50公升：30ｘ30ｘ56公分 100公升：40ｘ40ｘ62.5公分 150公升：40ｘ60ｘ62.5公分 |
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層架 |
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材質／形狀 |
鋁、不鏽鋼／水平扁盤、垂直架、旋轉支架 |
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電源供應 |
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瓦數／赫茲 |
0-1000 W／40千赫兹 |
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程序控制 |
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操作介面 |
15吋彩色液晶螢幕、Windows 10、PLC控制 |
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氣道 |
1-3個數位式氣體質量控制器 （可改為蒸氣計量入口） |
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排氣口 |
１個（可選軟管） |
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連接器 |
６公分 |
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計時器範圍 |
1秒至99.95分鐘 |
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壓力計 |
派藍尼感應器 |
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真空泵 |
2階旋轉 |
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＊適用於空氣、氧氣及其他非腐蝕性氣體 |
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其他 |
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電力 |
380-400 VAC/3相5線 (R/S/T/N/PE), max. current 16A/phase, 50赫茲 |
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認證 |
CE、ROHS、WEEE |