Theris 超高真空奈米粒子沉積模組
Theris NanoShell 奈米粒子殼層鍍膜模組
詳細介紹

奈米粒子應用

獨特的奈米粒子生成技術,可選擇奈米粒子的尺寸進行沉積,形成高純度的薄膜,利用加速度來調節薄膜密度,增加對薄膜的可控性,進一步擴展了奈米粒子的應用範圍。

  • 合金奈米粒子
  • 高熵合金
  • 奈米核殼粒子
  • 高純度、尺寸可選的奈米粒子
  • 緊密的奈米多孔薄膜

 

高效率光伏薄膜

電池儲存

氣體液體感測

催化劑研究

醫療設備

用於選擇性氣體或液體滲透的
奈米多孔薄膜

 

NanoShell - Core Shell Coater

奈米粒子殼層鍍膜模組

 

NanoShell 奈米粒子殼層鍍膜模組 位於 NanoStream沉積源與腔室之間,利用阻滯場(retarding fields)來延長奈米粒子在模組內的停留時間,實現奈米粒子的殼層鍍膜,形成奈米核殼粒子。