經濟日報 翁永全
設備代理商 元鋒精密提供專業薄膜及表面處理技術服務，為歐系、美國及日本知名大廠的長期合作夥伴，可因應不同產業需求提供客製化改機服務。主力產品芬蘭Picosun公司的研發及量產型ALD原子層沉積設備，適用於4、6、8及12吋。
總經理林宜鋒表示，Picosun創辦人Dr. Tuomo Suntola是ALD技術發明人，成立15年來，全球累計售出600餘部，在半導體8吋以下市場取得最高市占。該公司成功開發TEM樣品處理技術，獲12吋晶圓廠廣泛採用，市占率達九成；Mini LED背光模組方面也獲得國際大廠指定採用，打入供應鏈。並在氮化鎵、砷化鎵和碳化矽等化合物半導體及雷射半導體攻下灘頭堡，並且投入生醫材料、Micro LED及Micro OLED等先進顯示產業的應用開發。
元鋒精密在2021半導體展展示全系列代理產品。 翁永全/攝影
元鋒精密以ALD為核心技術，協力產業夥伴技術升級，也引進英國Henniker Plasma電漿表面處理設備，搭配ALD進行材料表面的清潔、改質、活化及鍍膜，提升製程效率及良率。其 Nebula系列月產能可達4吋7萬片，獲得LED國際大廠採用。元鋒精密另代理專用於奈米級薄膜膜厚及折射率量測的美國Film Sense橢圓偏光儀，推出具有自動校正功能的第三代機型，體積輕巧如同一部筆電，不同於光譜型橢偏儀，價格更親民，深受學界及業界歡迎。Film Sense以單波長LED光源取代傳統雷射光及鹵素燈，壽命長且熱機時間短，為最大賣點。
元鋒精密亦引進日本NSG的溼製程AR Coating技術，主攻光學鏡頭廠及顯示器產業，材料具有高穿透性及抗反射性，兼具生產方式多樣性，為傳統真空鍍膜以外的低成本解決方案。
該公司近年跨入複合材料加工領域，與中興大學機械系的新創企業漢鼎智慧科技合作，推出具有智慧掃頻、追頻功能的超音波刀把。漢鼎在超硬脆材料加工領域頗負盛名，攜手元鋒跨入桃竹地區半導體領域客戶及CNC工作坊。超音波振動輔助可有效提升陶瓷材料加工性能、品質與降低刀具磨耗，自動追頻掃頻系統將加工前偵測刀具磨耗和超音波驅動狀態數據回傳驅動器，驅動器依回饋自動調整驅動頻率，使超音波振動在加工中維持最佳穩定性能。應用在氧化鋁、碳化矽等硬脆材料，可提升加工效果及良率。模組化設計較坊間的超音波加工機更為輕巧，可在一天內與加工機整合，應用在半導體精密陶瓷加工，迎合機械手臂加工趨勢，也獲得航太產業採用。
文章來源：元鋒專精薄膜及表面處理技術服務及改機 | 光電半導體 | 商情 | 經濟日報 (udn.com)