Film Sense FS-1 多波段橢偏儀是ALD應用的絕佳夥伴
- 絕佳的厚度精度可以輕鬆解決每個ALD循環的亞單層厚度變化
- FS-1的精簡設計簡化了嵌入ALD反應器的程序，以用於原位薄膜測量
- FS-1提供的原位實時厚度數據，可顯著縮短ALD新參數和前驅物的開發時間
- 若因ALD腔室上的ports為光束載入口而無法進行原位薄膜測量 ，FS-1仍然可以進行ALD薄膜非原位厚度測量
- 經濟實惠
Film Sense橢偏儀已有許多在ALD反應器上進行原位薄膜測量的應用實例：
美國真空製造商
Kurt J. Lesker Company
科羅拉多礦業學院
康乃狄克大學