首先,我們先來定義何謂「電漿」。固體、液體、氣體是我們都熟悉的物質三態。我們可以通過增加或減少能量(如:加熱或冷卻)來調整物質狀態。 若繼續增能量,氣體分子會被電離(失去一個或多個電子),並帶淨正電荷。 如果被電離的分子達一定數量進而影響氣體電氣特性,則即為電漿。 因此,電漿通常被稱為物質的第四態。
電漿處理可用於多種材料表面特性改質,使它們更容易結合、黏合和上漆,通過清潔及活化表面來改善表面的粘附特性。
電漿包含正離子、電子、中性氣體原子或分子、紫外線以及激發態氣體原子和分子,它們可以攜帶大量內能(電漿會發光是因為這些激發態中性粒子弛豫到能量較低的狀態)。在電漿處理過程中,所有成分都可以與表面作用。我們可以透過選擇氣體混合物、功率、壓力等因素,精確地調整或設定電漿處理的效果。
下方影片將介紹何謂電漿處理技術及其功用: